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目前，光刻ASML的成芯极紫外（EUV）光刻机是制造高端芯片（如7nm及以下节点）的关键设备，它负责将极其微小的片制电路设计“打印”到硅晶圆上。

然而，造核该董事认为，英特2025全年免费资料大全和新澳2025正版免費資料像环绕栅极场效应晶体管（GAAFET）和互补场效应晶体管（CFET）这样的尔董新型设计，将显著增加光刻之后制造步骤（特别是事蚀术刻蚀技术）的重要性，从而削弱光刻在整体工艺中的刻技主导地位。

芯片制造流程始于光刻——将设计图案转移到晶圆表面。取代随后通过沉积添加材料，光刻并通过刻蚀选择性地去除材料，最终形成晶体管和电路结构。

新型晶体管设计的核心在于“包裹”栅极结构（GAAFET）或堆叠晶体管组（CFET）。这种三维结构的复杂性对精确刻蚀提出了更高要求。为了从各个方向“包裹”栅极或创建堆叠结构，芯片制造商需要更精细地、特别是横向地去除晶圆上的多余材料。

因此，该董事指出，未来的重点可能从单纯依赖光刻机缩小特征尺寸，转向更复杂、更关键的刻蚀工艺，以确保这些新型三维晶体管结构的精确成型。这预示着芯片制造技术路线可能迎来重大转变。

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